仪器:
多毛细管光束直径:
• 台式能量色散X射线荧光光谱仪.
• 硅漂移探测器(SDD).
• 多毛细管光路.
• 钼靶或钨靶X射线管(最大. 45 W; 45 kV, 1 mA).
• 5 位初级滤光片, 可程控(open, 3 Al, 1 Ni).

分析元素和镀层数:
• 元素范围Al (13) – U (92).
• 最高4层加底材
• 多大10个元素, 可自由定义.

多毛细管光束直径：

• 钼靶射线管:
• < 17 μm (峰高半宽于17 keV 处)
• < 30 μm (90% 强度位于17 keV)
• 钨靶射线管:
• < 20 μm (峰高半宽于40 keV 处)
• < 35 μm (90% 强度位于40 keV)

电脑及软件:
• XRF Controller 软件.
• Windows 10 compatible (64 bit).
• 镀层厚度基本参数法及经验系数法.
• 图形用户界面支持5种语言: 简体中文, 繁体中文, 英语,
日语, 韩语.

样品操作:
• 激光点辅助样品对位及固定焦距激光点对焦.
• 视野范围0.5 x 0.5 mm to 4 x 4 mm.
• 针对于4, 5, 6, 8 and 12” 晶圆的可选的晶圆模具(仅适用
于FT160. FT160h ).

样品腔室及样品台控制:
• 空气路径分析.
• 闭合式分析腔室.
• 台面移动精确度< ±2 μm.
• 样品承重: 10 kg.
• 游戏杆控制样品台走位.

FT160 样品台及样品尺寸

• 样品台: 420 mm x 320 mm (宽x 深).
• 样品台移动: 400 mm x 300 mm (宽x 深).
• 样品大小: 400 mm x 300 mm x 100 mm (宽x 深x 高).

FT160S 样品台及样品尺寸

• 样品台: 300 mm x 245 mm (宽x 深).
• 样品台移动: 300 mm x 260 mm (宽x 深).
• 样品大小: 300 mm x 245 mm x 80 mm (宽x 深x 高).
FT160L样品台及样品尺寸

• 样品台: 620 mm x 620 mm (宽x 深).
• 样品台移动: 300 mm x 300 mm (宽x 深).
• 样品大小: 600 mm x 600 mm x 20 mm (宽x 深x 高).

尺寸大小，重量及电源:
• FT160: 930 mm (宽) x 900 mm (深) x 710 mm (高).
• FT160L: 1030 mm (宽) x 1260 mm (深) x 710 mm (高).
• FT160S: 690mm (宽) x 900 mm (深) x 710 mm (高).
• 150 kg (FT160S), 160 kg (FT160), 170 kg (FT160L).
• 100 – 240 V, 50 / 60 Hz.
(不包括电脑，可选件及附件).