超高分辨场发射扫描电子显微镜 SU9600

半导体微缩化和尖端材料的开发离不开纳米级的形态观察。日立高新一直致力于开发保证亚纳米级分辨率的扫描电子显微镜（SEM）。新产品 “SU9600” 通过继承前代机型＊1 所具备的 0.4 nm（30 kV）超高分辨率＊2，凭借稳定的高分辨观察与高通量性能，能够为新工艺新材料的研发评估提供强大技术支撑。
SU9600 的特点：
1. 秉承日立特有技术，实现高分辨观察
2. 兼顾高效与高分辨的全新成像功能
3. 通过多种功能实现自动化与易用性
利用多种探测器可以得到二次电子、背散射电子以及透射电子信号。此外，可以通过控制二次电子信号的多少，针对不同材料特性提供多种观察方案。新开发的闪烁体式背散射电子探测器（VCD）提高了响应速度，可以更便捷地锁定观察位置。
新增多种扫描功能，可以根据不同测试需求获取相应的图像，从而提升测试效率。
各种扫描功能还可以与自动化辅助功能 EM Flow Creator＊ 联动。