
随着快速数据采集和数据处理技术的发展,电子显微镜进入了一个不仅重视数据质量,而且重视其采集过程的时代。SU8600系列秉承了Regulus8200系列的高质量图像、大束流分析及长时间稳定运行的冷场成像技术,同时还大大提升了高通量、自动数据获取能力。
特点:
1.电子光学与探测系统
2.兼具超高分辨率及分析扩展能力
3.先进的自动化功能
4.灵活的用户界面和样品室配置
规格
| 机型 | SU8600 系列 |
|---|
| 电子光学系统 | 0.6 nm@15 kV |
|---|
| 0.7 nm@1 kV * |
| 20 to 2,000,000 x |
| 冷场发射电子源,支持柔性闪烁功能,包含阳极烘烤系统。 |
| 0.5 to 30 kV |
| 0.01 to 20 kV |
| 探测器 | 上探测器(UD) |
|---|
| UD ExB能量过滤器,包含SE/BSE信号混合功能 |
| 下探测器(LD) |
| 顶探测器(TD) |
| TD能量过滤器 |
| 镜筒内背散射电子探测器(IMD) |
| 半导体式背散射电子探测器 (PD-BSED) |
| 新型闪烁体式背散射电子探测器(OCD) |
| 阴极荧光探测器(CLD) |
| 扫描透射探测器(STEM Detector) |
| 导航相机、样品室相机、X射线能谱仪(EDS)、背散射电子衍射探测器(EBSD) |
| EM Flow Creater、HD Capture(最高 40,960×30,720 像素) |
| 5轴马达驱动(X/Y/R/Z/T) |
| X:0~110 mm |
| Y:0~110 mm |
| Z:1.5~40 mm |
| T:-5~70° |
| R:360° |
| 最大直径:150 mm |