产品介绍

超高分辨肖特基场发射扫描电子显微镜SU8700

超高分辨肖特基场发射扫描电子显微镜SU8700
详细介绍

随着快速数据采集和数据处理技术的发展,电子显微镜进入了一个不仅重视数据质量,而且注重其采集过程的时代。SU8700作为一款面向新时代的SEM,在日立电镜贯有的高图像质量和高稳定性的基础上,增加了包括自动获取数据等高通量的功能。
特点:
1.超高分辨观察和超强分析能力
2.先进的自动化功能 
3.用户界面和样品室配置

规格

电子光学系统二次电子分辨率0.6 nm@15 kV
0.8 nm@1 kV
0.9 nm@0.3 kV
放大倍率20 ~ 2,000,000 x
电子枪肖特基场发射电子源
加速电压0.1 ~ 30 kV
0.01 ~ 30 kV(*3)
着陆电压*1,*30.01 ~ 7 kV
最大束流200 nA
探测器标配探测器上探测器(UD)
下探测器(LD)
选配探测器*3镜筒内背散射电子探测器(MD)
半导体式背散射电子探测器(PD-BSE)
高灵敏低真空探测器(UVD)
扫描透射探测器(STEM)
选配附件*2X射线能谱仪(EDS)
电子背散射衍射探测器(EBSD)
样品台马达驱动轴5轴马达驱动
移动范围 
X0 ~ 110 mm
Y0 ~ 110 mm
Z1.5 ~ 40 mm
T-5 ~ 70°
R360°
样品室样品尺寸最大直径:150 mm*4
低真空模式真空范围5 ~ 300 Pa

*1减速模式下

*2可配置的探测器

*3选配项

*4如果有更大的样品尺寸需求,请联系我们。