
SU3900/SU3800 SE系列作为FE-SEM产品,配置超高分辨率与观察能力,而且不像部分SEM产品,受安装样品尺寸与重量的限制,此系列可以通过简单的操作实现数据采集。可用于钢铁等工业材料,汽车、航空航天部件等超大、超重样品的观察。
此外,SE系列包括4种型号(两种类型,两个等级),满足众多领域的测试需求。用户可以根据实际用途(如微观结构控制:用于改善电子元件、半导体等材料的功能和性能;异物、缺陷分析:用于提高产品品质)选择适合的产品。
特点:
1.热场 SEM 支持低真空,搭载超大样品仓,可扩展实现更多功能
2.支持视野搜索
3.自动调整功能
4.观察肉眼看不到的细节,更高分辨率、极表面
5.观察自动化、辅助功能让操作更便捷
6.客户支持功能
规格
| 项目 | SU3900SE/SE Plus | SU3800SE/SE Plus |
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| 电子光学系统 | 二次电子分辨率 | 0.9 nm@30 kV |
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| 2.5 nm@1 kV |
| 1.6 nm@1 kV(*1) |
| 放大倍率 | 5~600,000× |
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| 电子枪 | ZrO热场发射(肖特基热场发射) |
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| 加速电压 | 0.5 kV~30 kV |
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| 着陆电压(*1) | 0.1 kV~2 kV |
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| 束流 | 最大150 nA |
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| 真空系统 | 低真空模式 |
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| 探测器 | 标配探测器 | 二次电子探测器(SED) |
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| 顶探测器(TD) (*2) |
| 5分割背散射电子探测器(BSED) |
| 选配探测器 | 高灵敏度低真空探测器(UVD) |
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| 选配附件*3 | 能谱仪 (EDS) 电子背散射衍射(EBSD) |
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| 马达台 | 马达台驱动方式 | 5轴优中心马达台 |
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| 移动范围 | |
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| X | 0~150 mm | 0~100 mm |
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| Y | 0~150 mm | 0~50 mm |
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| Z | 3~85 mm | 3~65 mm |
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| T | -20~90° |
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| R | 360° |
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| 样品仓 | 样品尺寸 | 最大直径300 mm 最大样品高度130 mm | 最大直径200 mm 最大样品高度80 mm |
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*1选配
*2SE Plus机型
*3可安装的分析附件