
随着快速数据采集和数据处理技术的发展,电子显微镜进入了一个不仅重视数据质量,而且注重其采集过程的时代。SU8700作为一款面向新时代的SEM,在日立电镜贯有的高图像质量和高稳定性的基础上,增加了包括自动获取数据等高通量的功能。
特点:
1.超高分辨观察和超强分析能力
2.先进的自动化功能
3.用户界面和样品室配置
规格
| 电子光学系统 | 0.6 nm@15 kV |
|---|
| 0.8 nm@1 kV |
| 0.9 nm@0.3 kV |
| 20 ~ 2,000,000 x |
| 肖特基场发射电子源 |
0.1 ~ 30 kV 0.01 ~ 30 kV(*3) |
| 0.01 ~ 7 kV |
| 200 nA |
| 探测器 | 上探测器(UD) |
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| 下探测器(LD) |
| 镜筒内背散射电子探测器(MD) |
| 半导体式背散射电子探测器(PD-BSE) |
| 高灵敏低真空探测器(UVD) |
| 扫描透射探测器(STEM) |
| X射线能谱仪(EDS) |
| 电子背散射衍射探测器(EBSD) |
| 样品台 | 5轴马达驱动 |
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| 0 ~ 110 mm |
| 0 ~ 110 mm |
| 1.5 ~ 40 mm |
| -5 ~ 70° |
| 360° |
| 样品室 | 最大直径:150 mm*4 |
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| 低真空模式 | 5 ~ 300 Pa |
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*1减速模式下
*2可配置的探测器
*3选配项
*4如果有更大的样品尺寸需求,请联系我们。