产品介绍

扫描电子显微镜 SU3800/SU3900

扫描电子显微镜 SU3800/SU3900
详细介绍

日立高新推出的扫描电镜SU3800/SU3900兼具操作性和扩展性，结合众多的自动化功能，可高效发挥其高性能。SU3900标配多功能超大样品仓，可应对大型样品的观察。
配备多功能超大样品仓，搭载多样自动化与辅助功能，操作便捷；可配置多种探测器，提供适配不同测试需求的应用解决方案，支持分子级别案例观察。
丰富应用场景，支持半导体器件、材料科学、生命科学**三大领域的微观观察与分析，满足多行业研发与品控测试需求。

规格

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ITEMSU3800SU3900
二级电子分解能3.0nm（加速电压30kV、WD=5mm、高真空模式）
15.0nm（加速电压1kV、WD=5mm、高真空模式）
背散射电子分解能4.0nm（加速电压30kV、WD=5mm、低真空模式）
倍率×5～×300,000（照片倍率*1）
×7～×800,000（实际显示倍率*2）
加速电压0.3kV～30kV
低真空度设定6～650 Pa
图像位移±50µm（WD＝10mm）
最大样品尺寸200mm直径300mm直径
样品台X0～100mm0～150mm
Y0～50mm0～150mm
Z5～65mm5～85mm
R360°连续
T－20°～+90°
最大可观察范围130mm直径（R并用）229mm直径（R并用）
最大可观察高度80mm（WD=10mm）130mm（WD=10mm）
电机驱动5轴电机驱动
电子光学系统电子枪预对中钨灯丝电子枪
物像镜头光圈4孔可动光圈
检测系统二级电子检测器、高灵敏半导体背散射电子检测器
EDX分析WDWD＝10mm（T.O.A＝35°）
图像显示自动光轴调整功能自动光束调整（AFS→ABA→AFC→ABCC）
自动光轴调整（实时级别对齐）
自动调整光束亮度
自动图像调整功能自动亮度和对比度控制（ABCC）
自动对焦控制（AFC）
自动标记和焦点功能（ASF）
自动灯丝饱和度调整（AFS）
自动光束对准（ABA）
自动启动（HV-ON→ABCC→AFC）
操作辅助功能电子束旋转、动态聚焦、图像质量改善功能、数据输入（点对点测量、角度测量、文本）、预设放大、样品台位置导航功能（SEM MAP）、光束标记功能
配件■硬件:轨迹球、操纵杆、操作面板、压缩机、高灵敏度操作低空探测器（UVD）、红外CCD探测器、摄像机导航系统■软件:SEM数据管理器外部通讯接口、3D捕获、装置台移动限制解除功能、EDS集成
配件（外部装置）能量散射X射线分析仪（EDS）、电子背散射衍射（EBSD）、
外部功能台（冷却台）

*1.指正放大倍率为127 mm x 95 mm（4x5照片尺寸）的显示尺寸。

*2.指定放大倍率为509.8 mm x 286.7 mm（1,920 x 1,080像素）的显示尺寸。