产品介绍

高分辨热场发射扫描电镜 SU3900SE/SE Plus SU3800SE/SE Plus

高分辨热场发射扫描电镜 SU3900SE/SE Plus SU3800SE/SE Plus
详细介绍
SU3900/SU3800 SE系列作为FE-SEM产品,配置超高分辨率与观察能力,而且不像部分SEM产品,受安装样品尺寸与重量的限制,此系列可以通过简单的操作实现数据采集。可用于钢铁等工业材料,汽车、航空航天部件等超大、超重样品的观察。
此外,SE系列包括4种型号(两种类型,两个等级),满足众多领域的测试需求。用户可以根据实际用途(如微观结构控制:用于改善电子元件、半导体等材料的功能和性能;异物、缺陷分析:用于提高产品品质)选择适合的产品。
特点:
1.热场 SEM 支持低真空,搭载超大样品仓,可扩展实现更多功能
2.支持视野搜索
3.自动调整功能
4.观察肉眼看不到的细节,更高分辨率、极表面
5.观察自动化、辅助功能让操作更便捷

6.客户支持功能

规格

项目SU3900SE/SE PlusSU3800SE/SE Plus
电子光学系统二次电子分辨率0.9 nm@30 kV
2.5 nm@1 kV
1.6 nm@1 kV(*1)
放大倍率5~600,000×
电子枪ZrO热场发射(肖特基热场发射)
加速电压0.5 kV~30 kV
着陆电压(*1)0.1 kV~2 kV
束流最大150 nA
真空系统低真空模式6~150 Pa
探测器标配探测器二次电子探测器(SED)
顶探测器(TD) (*2)
5分割背散射电子探测器(BSED)
选配探测器高灵敏度低真空探测器(UVD)
选配附件*3能谱仪 (EDS)
电子背散射衍射(EBSD)
马达台马达台驱动方式5轴优中心马达台
移动范围 
X0~150 mm0~100 mm
Y0~150 mm0~50 mm
Z3~85 mm3~65 mm
T-20~90°
R360°
样品仓样品尺寸最大直径300 mm
最大样品高度130 mm
最大直径200 mm
最大样品高度80 mm

*1选配

*2SE Plus机型

*3可安装的分析附件